六箱體氮?dú)夂嫦?,多倉式潔凈烘箱選配功能: 輔助降溫:水冷、風(fēng)冷降溫 操作界面:人機(jī)界面+PLC,工控電腦 錄入信息:掃碼槍 監(jiān)測功能:氧含量分析儀等
潔凈無氧烘箱,氮?dú)鉄o氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會使光敏化合物擴(kuò)散,從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化,專用于半導(dǎo)體,集成電路。