塑封固化專用潔凈烘箱采用自動加熱的方式對其進(jìn)行保溫固化,固化溫度維持在 175℃,固化時間為 8 小時。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。
高溫?zé)o氧烘箱,充氮高溫 無氧烤箱應(yīng)用于MEMS智能傳感器芯片生產(chǎn)、LCD前工段生產(chǎn)、玻璃基板等工藝中的PI(聚酰亞胺)固化,BCB聚合物、PBO高溫固化,銀膠固化,光刻膠固化,鍍金方案中感濕膜烘烤工藝,車載玻璃鍍膜后退火,硅片(晶圓)高溫退火,PCB板防氧化烘烤,氟橡膠材料厭氧烘烤工藝,電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求